潔凈度等級標準
潔凈度等級標準ISO14644根據懸浮粒子濃度這個(gè)唯一指標來(lái)劃分潔凈室（區）及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值（低限）0.1um～0.5um范圍內累計分布的粒子群。根據粒子徑，可以劃分為常規粒子（0.1um～0.5um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空氣潔凈度分級標準：ISO14644-1（國際標準）
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空氣潔凈 度等級(N) |
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子） |
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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
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ISO Class1 |
10 |
2 |
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ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
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ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
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ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
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ISO Class7 |
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352,000 |
83,200 |
2,930 |
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ISO Class8 |
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3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
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ISO Class9 |
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