潔凈室等級和級別-潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：空氣潔凈度等級

潔凈室等級和級別-潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：空氣潔凈度等級

引   言
潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境將空氣懸浮粒子控制在適當的水平 ，以便完成對污染敏感的活動(dòng) 。航空航 天 、微電子 、制藥 、醫療器械、食品 、醫療衛生等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝受益于對懸浮污染物的控制 。
GB/T 25915 的本部分規定的 ISO 等級 ，可作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內空氣潔凈度的技術(shù)條件 。 這里不僅規定了測定空氣懸浮粒子濃度的規程 ，也規定了標準的檢測方法 。
本部分為粒子濃度限值限定了粒徑范圍 。可按本部分提供的標準程式 ，根據小于或大于等級關(guān)注 粒徑的空氣懸浮粒子濃度，確定潔凈度的水平 。
本部分是潔凈室和污染控制系列標準中的一個(gè) 。除空氣懸浮粒子濃度外 ，在和其他受控環(huán) 境的設計 、技術(shù)條件 、運行及管理中還有許多因素必須考慮 。在本標準的其他部分中 ，有這方面的詳細 內嚇
有些場(chǎng)合，有關(guān)管理機構可能會(huì )規定補充性的政策或限制 。遇到這種情況 ，可能需要對標準檢測方 法進(jìn)行適當調整 。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第 1 部分 ：空氣潔凈度等級
1范圍
 GB/T25915 的本部分劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的空氣潔凈度等級僅依據其內的空氣懸浮粒子濃度，，，
該濃度系指粒徑大于或等于閾值（低限）粒徑的粒子總數，規定的闊值（低限）粒徑為 0. 1 μm-5 μm。本部未設立 0. 1μm-5 μm 規定粒徑以外粒子總數的潔凈度等級 。但可以用 U 描述符和 M 描述符，分別表述超微粒子 （5 μm）的總數。本部分不能用于描述空氣懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射性或存活特性。
注 ：大于或等于某粒徑的粒子濃度實(shí)際分布一般難以預測，且通常是隨時(shí)間變化的。

2術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件 。
2. 1一般
 2. 1.1
潔凈室cleanroom
空氣懸浮粒子濃度受控的房間 ，其建造和使用方式使房間內進(jìn)入的 、產(chǎn)生的 、滯留的粒子最少，房間 內溫度、濕度、壓力等其他相關(guān)參數按要求受控 。
2. 1. 2
潔凈區clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的專(zhuān)用空間，其建造和使用方式使區內進(jìn)入的 、產(chǎn)生的 、滯留的粒子最少 ，區 內溫度、濕度 、壓力等其他相關(guān)參數按要求受控 。
注 ：潔凈區可以是開(kāi)放的或封閉的，可在也可不在潔凈室內 。
2. 1. 3
設施installation
所有相關(guān)構筑物 、空氣處理系統以及服務(wù) 、公用系統的潔凈室，或一個(gè)或數個(gè)這樣的潔凈區 。
2. 1. 4
潔凈度等級classification
潔凈度分組classification
以 ISO N 級表示的 、潔凈室或潔凈區內按空氣懸浮粒子濃度劃分的潔凈度水平（或規定 、確定該水 平的過(guò)程） 。潔凈度等級代表關(guān)注粒徑粒子的最大允許濃度（表示為每立方米空氣中的粒子個(gè)數） 。
注 1 ：濃度計算見(jiàn) 3. 2 的式(1） 。
注 2 ：本部分等級的范圍限于 ISO 1 級-ISO 9 級。
注 3 ：本部分的等級關(guān)注粒徑限于 0.1 μm   5 μm 范圍（較低閾值） 。指定閾值粒徑超出此范圍的空氣潔凈度 ，可以用 U 描述符和 M 描述符（見(jiàn) 2. 3. 1 和 2. 3. 2 ）描述和說(shuō)明（但不分級） 。
注 4 : ISO 等級可帶小數，最小增量為 0.1，ISO 1. 1 級-ISO 8. 9 級。
注 5 ：潔凈度等級可適用于所有 3 種占用狀態(tài)

2. 2空氣懸浮粒子
2. 2. 1
粒子particle
其粒徑閾值（下限）在 0. 1 μm5 μm 范圍的 、累計的固體或液體物質(zhì) 。

2. 2. 2
粒徑particle size
給定粒徑測量?jì)x器給出的 、與被測粒子的響應量相當的球形體直徑 。
注 2 離散粒子計數器給出的是當量光學(xué)直徑 。

2. 2. 3
粒子濃度particle concentration
單位體積空氣中粒子的個(gè)數 。

2. 2. 4
粒徑分布particle size distribution
粒子按粒徑大小累計得出的粒子濃度 。

2. 2. 5
超微粒子ultrafine particle
當量直徑小于 0. 1 μm 的粒子。

2. 2. 6
大粒子macroparticle
當量直徑大于 5 μm 的粒子。

2. 2. 7
纖維fiber
（長(cháng)寬〉 比不小于 10 的粒子。

2. 3描述符
2. 3. 1
U 描述符U descriptor
包括超微粒子在內的 、每立方米空氣粒子的實(shí)測或規定濃度 。
注 ：U描述符可以作為采樣點(diǎn)平均濃度的上限（或置信上限 ，該置信上限依潔凈室或潔凈區性能評定采樣點(diǎn)數量而 定） 。不能用 U描述符確定空氣潔凈度等級 ，但可以將其單獨或隨潔凈度等級引述 。
2. 3. 2
M 描述符M descriptor
每立方米空氣中大粒子的實(shí)測或規定濃度 。M 描述符中的當量粒徑與測量方法有關(guān) 。
注 ：M 描述符可以作為采樣點(diǎn)平均濃度上限（或置信上限 ，該值依潔凈室或潔凈區性能評定采樣點(diǎn)數量而定） 。不 能用U描述符確定空氣潔凈度等級 ，但可以將其單獨或隨潔凈度等級引述 。

2. 4占用狀態(tài)
2. 4. 1
空態(tài)as-built
設施已建成并運行，但沒(méi)有生產(chǎn)設備 、材料和人員的狀態(tài)。

2. 4. 2
靜態(tài)at-rest
設施已建成 ，生產(chǎn)設備已安裝好并按需方與供方議定的條件運行 ，但沒(méi)有人員的狀態(tài) 。 
2. 4. 3
動(dòng)態(tài)operational
設施按規定方式運行 ，其內規定數量的人員按議定方式工作的狀態(tài) 。
2.5有關(guān)各方
2. 5. 1
需方customer
規定潔凈室或潔凈區具體要求的機構或其代理 。
2. 5. 2
供方supplier
使潔凈室或潔凈區達到規定要求的機構 。

3等級
3. 1占用狀態(tài)
潔凈室或潔凈區的潔凈度等級 ，應按一種或幾種占用狀態(tài)確定 ，即：“空態(tài)”、“靜態(tài)” 、“動(dòng)態(tài)”（見(jiàn) 2. 的。
注 ：“空態(tài)”檢測適用于新建成或新改造的潔凈室或潔凈區 。完成了“空態(tài)”檢測后，應進(jìn)行“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”或這兩者的達級檢測 。
3. 2等級編號
空氣潔凈度等級以等級編號 N 表示 。每種關(guān)注粒徑 D 的最大允許粒子濃度 c. 由式(1） 確定 ：
式中
Cn 一一大于或等于關(guān)注粒徑的粒子最大允許濃度（以每立方米空氣中粒子的個(gè)數表示），  將Cn 修 約為不超過(guò) 3 位有效數字的整數 ；
N   一ISO 等級的數字編號 ，最大不超過(guò) 9 。N 的各整數等級之間可以設定最小增量為 0. 1 的中 間等級；
D一一關(guān)注粒徑，單位為微米（ μm) ;
0. 1 一一常數，單位為微米（ μm） 。
表 1 給出了空氣潔凈度的整數級別及其對應的關(guān)注粒徑及以上的粒子允許濃度 。圖 A. 1（ 見(jiàn)
附錄 A）以圖解說(shuō)明整數等級 。出現爭議時(shí)，應以式 (1）計算出的濃度 Cn 為準。
潔凈度等級標準表

3. 3等級的表達
表述潔凈室及潔凈區空氣的潔凈度 ，應包含以下內容 ：
a)以 ISO N級表示的等級 ；
b)等級相應的占用狀態(tài) ；
c)等級的關(guān)注粒徑以及由式 (1） 確定的相應濃度 ，且每個(gè)關(guān)注粒徑閾值均在 0. 1 μm-5μm 范 圍內。
示例:
ISO 4 級；動(dòng)態(tài) 關(guān)注粒徑O. 2 μm(2 370 個(gè)/m3）；1 μm(83 個(gè)個(gè)/m3)。
需方與供方雙方應商定濃度測量中所用的一個(gè)或多個(gè)關(guān)注粒徑 。
如果測量的關(guān)注粒徑不只一個(gè)，則相鄰兩粒徑中的大者〈如 D，） 與小者叫日 D，）之比不得小于 1. 5 倍，即：


4等級的證實(shí)
4. 1原理
根據需方與供方的協(xié)議 ，實(shí)施規定的檢測 ，并提供規定的檢測結果和檢測條件的文件 ，來(lái)驗證設施 符合需方規定的空氣潔凈度 (ISO 等級）要求 。
4. 2檢測
附錄 B 給出了達級驗證的基準檢測方法 。也可以使用其他準確度可比的方法 。如未指定或議定 其他檢測方法，則應使用基準檢測方法 。
達級檢測中應使用經(jīng)校準的儀器 。
4. 3空氣懸浮粒子濃度限值
按 4. 2 完成檢測后，按附錄 C 中的公式計算粒子平均濃度和 95 % 置信上限（適用時(shí)） 。
按式（C. 1）計算出的關(guān)注粒徑［見(jiàn) 3. 3c）］的粒子平均濃度 ，不得超過(guò)按 3. 2 中式(1） 計算出的濃度 限值。
此外 ，若采樣點(diǎn)的數量不少于 2 且不多于 9，則按 c. 3 規定計算出的 95 % 置信上限，不得超過(guò)上面
計算的濃度限值 。
注 ：附錄 D給出了等級計算實(shí)例 。
粒子濃度用于判定與分級限值的一致性時(shí) ，對所有關(guān)注粒徑的濃度測量都應采用 同一種方法。
4. 4檢測報告
以綜合報告的形式記錄并提交各潔凈室和潔凈區的檢測結果 ，報告中應聲明檢測結果是否達到規 定的空氣潔凈度等級 。
檢測報告應包括如下內容 ：
的檢測機構的名稱(chēng) 、地址 、檢測日期 ；
b)本部分的國家標準編號 ，即 GB/T 25915. 1 - 2010 。
c)清楚標明所測潔凈室或潔凈區的具體位置（必要時(shí)以鄰近區域作參照），并標注所有采樣點(diǎn)的 具體坐標 ；
d)為潔凈室或潔凈區所規定的標準 ，包括 ISO 等級 ，相應的占用狀態(tài)，關(guān)注粒徑 ；
e)所用檢測方法的詳細說(shuō)明，包括特殊的檢測條件以及與規定檢測方法的偏離之處；檢測儀器的規格型號，儀器最新的校準證書(shū) ；
f)檢測結果，包括每個(gè)采樣點(diǎn)的坐標和粒子濃度數據 。
注 2   若按附錄 E 的說(shuō)明表述了超微位子或大粒子的濃度量，則檢測報告中就應包含相應信息 。

附錄A
（資料性附錄）
潔凈度等級表 1 的圈示
圖 A. l 是表 1空氣潔凈度等級的圖示 ，僅起說(shuō)明作用 。表 1的 ISO 等級在圖中以直線(xiàn)表示 ，直線(xiàn)代表關(guān)注粒徑閾值所對應的等級濃度限值 。這些限值是根據 3. 2 中的式(1） 計算得來(lái) 。而圖中的直線(xiàn) 只是等級限值的一種近似表示 ，不能以此確定限值，確定限值仍使用式 ） 。
圖中的實(shí)心點(diǎn)對應的是每個(gè) ISO 等級粒徑閾值的最大和最小值 ，因此，等級線(xiàn)不能延伸至實(shí)心點(diǎn) 之外 。
等級線(xiàn)不代表潔凈室和潔凈區內粒徑的實(shí)際分布 。


附錄B
（規范性附錄） 采用光散射離散粒子計數器
測定粒子潔凈度等級
B. 1原理
使用光散射離散粒子計數器 ，在指定的采樣點(diǎn)，測定大于或等于關(guān)注粒徑的空氣懸浮粒子濃度 。
B. 2儀器要求
B. 2. 1粒子計數器
離散粒子計數器 CDPC） 是一種光散射測量裝置 ，能夠顯示或記錄空氣中離散粒子的數量和粒徑 ：具 有粒徑辨別力 ，可在相關(guān)潔凈度等級所涉及的粒徑范圍內測定粒子總濃度 ；并帶有一套合適的采樣 系統。
B. 2. 2儀器校準
儀器應具有有效的校準證書(shū) ；校準頻度和校準方法應符合現行公認的標準和規范 。
B 3   預檢測條件
B. 3. 1檢測準備
檢測前 ，先驗證潔凈室或潔凈區整體運行的各個(gè)方面均正常元誤   ，符合性能要求 。 預檢測工作可包括如 z
a)風(fēng)量或風(fēng)速檢測 ；
b)空氣壓差檢測 ；
c)氣密性檢測 ；
d)已裝過(guò)濾器的檢漏。
B. 3. 2預檢測所用儀器的設置 按照制造商的說(shuō)明設置并調準儀器 。
B. 4采樣
B. 4. 1確定采樣點(diǎn)位置
B. 4. 1. 1按式CB. 1） 求出最少采樣點(diǎn)數量 ：


B. 4. 1. 2

確保采樣點(diǎn)在整個(gè)潔凈室或潔凈區內均勻分布 ，并位于工作面高度 。 若需方規定了 附加的采樣點(diǎn)，應對新增采樣點(diǎn)的數目和位置做出規定 。 注 ：附加采樣點(diǎn)可位于按風(fēng)險分析得出的關(guān)鍵位置 。

B. 4. 2確定各采樣點(diǎn)的單次采樣量 
B. 4. 2. 1

若關(guān)注粒徑的最大粒子濃度處于指定 ISO 等級的濃度上限 ，則在每個(gè)采樣點(diǎn)要采集足以檢測出不 少于 20 顆粒子的空氣量。
由式




B. 4. 2. 2
每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量不得少于 2 L，采樣時(shí)間不得少于 1 min 。
B. 4. 3采樣規程
B. 4. 3. 1
按制造商的說(shuō)明和儀器校準證書(shū)設置粒子計數器 CB. 2. 1) 。
B. 4. 3. 2
采樣探頭應指向氣流 。若采樣點(diǎn)處氣流方向未受控或不可預測（ 例如非單向流） ，則采樣探頭的進(jìn) 氣口應垂直向上 。
B. 4. 3. 3
在每個(gè)采樣點(diǎn)按 B. 4. 2 確定的最小采樣量采樣 。
B. 4. 3. 4
當僅需要一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí) CB. 4. D ，則在該點(diǎn)最少進(jìn)行三次采樣 。
B. 5記錄結果
B. 5. 1各采樣點(diǎn)的平均粒子濃度
B. 5. 1. 1
記錄下相關(guān)空氣潔凈度等級的每個(gè)關(guān)注粒徑（ 3. 3）粒子的單次采樣濃度 。
注 ：在計算95% 置信上限之前，應先考慮 B. 6. 1 的要求。
B. 5. 1. 2
當只有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí) ，計算每個(gè)關(guān)注粒徑采樣數據 
B. 5. 1. 3
當在一個(gè)采樣點(diǎn)上進(jìn)行 2 次或 2 次以上的采樣時(shí)，按照 c. 2 中給出的規程 ，從各次采樣 CB. 5. 1. 1)
計算出每個(gè)關(guān)注粒徑的粒子平均濃度 ，并記錄結果 。
B. 5. 295% 置信上限（ UCL） 的計算要求
B. 5. 2. 1
當采樣點(diǎn)數量不只 1 個(gè)且不到 10 個(gè)時(shí) ，按照 c. 3 中給出的規程 ，以所有各點(diǎn)的平均粒子濃 度
CB. 5. 1)計算總平均值 、標準差和 95 % 置信上限 。
B. 5. 2. 2
當采樣點(diǎn)只有 1個(gè)或多于9 個(gè)時(shí) ，無(wú)需計算 95 % 置信上限 。
B. 6數據分析
B. 6. 1分級要求
若每個(gè)采樣點(diǎn)測得的粒子濃度平均值 ，以及適用時(shí)按 B. 5. 2 計算的 95 % 置信上限，均未超過(guò)按 3. 2
中式(1） 確定的濃度限值 ，則認為該潔凈室或潔凈區達到規定的空氣潔凈度等級 。 若檢測結果未能滿(mǎn)足規定的空氣潔凈度等級 ，可新增均勻分布的采樣點(diǎn)進(jìn)行檢測 。重新計算結果
時(shí)，除了包含新采樣點(diǎn)的數據外 ，還應包括原有采樣點(diǎn)的所有數據 。（www..com）對包括新采樣點(diǎn)在內的數據進(jìn)行的 重新計算，其結果是不可更改的 。
B. 6. 2異常值的處理
95 % 置信上限（ UCL) 的計算結果，可能未達到規定的 ISO 等級 。如果未達級是測量差錯（由于操 作差錯或設備不正常〉所致或是粒子濃度異常低（由于個(gè)別測點(diǎn)空氣異常潔凈） 而引起的單個(gè)非隨機異 常值所致，則該值可以不計 ，條件是z
a)重新計算時(shí)包括所有剩余采樣點(diǎn)的數據   z
b)計算中至少還有 3 個(gè)測量值 ；
c)計算中不計的測量值不得超過(guò) 1個(gè) ；
d)記錄造成測量差錯或低粒子濃度的可疑原因 ，并得到供需雙方的認可 。
注 ：依所測潔凈設施的應用性質(zhì)，各采樣點(diǎn)粒子濃度相當大的差異可能是合理的 ，甚至是有意而為 。
附錄C
（規范性附錄）
粒子濃度數據的統計處理
c. 1通則
統計分析中只考慮隨機誤差（精度不足） ，不考慮非隨機誤差（如，校準誤差造成的偏差） 。

附錄E
（資料性附錄） 超出分組粒徑閾值范圍的粒子計徑和計數
E. 1原理
在某些涉及特定工藝要求的情況下，可按分級粒徑闊值范圍之外的粒子濃度另外規定空氣潔凈度 的水平。這類(lèi)粒子的最大允許濃度和相應的檢測方法由需方與供方議定 。E. 2 （對于 U 描述符） 和 E. 3
（對于 M描述符）中說(shuō)明了相關(guān)檢測方法和規定表達式 。 
E. 2小于 0. 1 μm 的粒子（超微粒子）一u 描述符
E. 2. 1應用
如果需要評估小于 0. 1 μm 的粒子造成污染的風(fēng)險 ，就要采用符合這類(lèi)粒子具體特性的采樣裝置 和測量方法 。
應按照 B. 4. 1 確定采樣點(diǎn)數量 ，最小采樣量 只應為 2 L(B. 4. 2. 2 ） 。
E. 2. 2U 描述符表達式
可以單獨采用 U描述符說(shuō)明超微粒子濃度 ，也可將它作為空氣潔凈度等級的補充說(shuō)明 。
U描述符用“U ( x ; y ） ”表示，其中 z
z 一超微粒子的最大允許濃度（以每立方米空氣超微粒子個(gè)數表示） ；
y 一一 以微米計的粒徑 ，合適的離散粒子計數器在該粒徑點(diǎn)的粒子計數效率為 50 % 。
例：粒徑范圍二三 0. 01 μm 、最大允許超微粒子濃度 140 000 個(gè)/m3可表示為“U040 000;0. 01 μm）”。
注 1 : IEST G-CC1002給出了小于 0. 1 μm 的懸浮粒子濃度的檢測方法 。
注 2 ：如果用U 描述符作為空氣潔凈度等級的補充說(shuō)明 ，則超微粒子的濃度（叫不得小于對應該 ISO 等級粒徑
0. 1 μm 的粒子濃度限值（每立方米粒子個(gè)數） 。
E. 3大于 5 μm 的粒子（大粒子）一M 描述符
E. 3. 1應用
如果需要評估大于 5 μm 的粒子造成污染的風(fēng)險 ，就要用符合這類(lèi)粒子具體特性的采樣裝置和測 量方法 。
空氣懸浮粒子中的大粒子 般是從工藝環(huán)境中釋放的 ，因此，應根據具體使用情況來(lái)確定適用的采 樣裝置和測量方法 。需要考慮的因素有 ：粒子的密度 、形狀 、體積 、空氣動(dòng)力學(xué)特性等等 。此外 ，可能還 需要特別關(guān)注總懸浮粒子中的特定組分 ，如纖維 。
E. 3. 2M 描述符表達式
M描述符可以單獨引述，也可將它作為空氣潔凈度等級的補充說(shuō)明 。M 描述符用“ M ( a ; b)   ; c”表 示，其中 ：
a 一一大粒子的最大允許濃度（以每立方米空氣中的大粒子個(gè)數表示） ；
b 一一與規定的大粒子測量方法對應的當量直徑（或直徑） (μm) ;
c 一一規定的測量方法 。
注 ：如果采樣的懸浮粒子中含有纖維，則可以在 M 描述符上加一個(gè)纖維標記，表示為“M奸維 （a   ;b)   ;c”。
示例 1 :
若使用氣溶膠飛行時(shí)間粒子計數器 ，測定的粒子空氣動(dòng)力學(xué)直徑＞ S μm 的粒子濃度為 10 000 個(gè)/m3，，則用 M 描述 符表示為：
“M（1000；>5 μm）；氣溶膠飛行時(shí)間粒子計數器” 。
示例 2:
若使用顯微鏡對多級撞擊采樣器采集的粒子進(jìn)行粒徑測定和計數 ，測得 10 μm   - 20   μm 粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000個(gè)/m3 ，則用 M 描述符表示為：
“M（1000;10 μm -20  μm）；多級撞擊采樣器，以顯微鏡測定粒徑并計數飛
注 2: IEST-G-CC1003］ 中給出了大于5 μm的懸浮粒子濃度的檢測方法 。
注 3 ：如使用M 描述符作為空氣潔凈度等級的補充說(shuō)明 ，則大粒子濃度 （a ） 不得大于對應于該 ISO   等級的粒徑 5   μm的粒子濃度限值（每立方米粒子個(gè)數） 。
附錄F
（資料性附錄） 序貫采樣法
F. 1
背景和條件
F. 1. 1背景
若采樣空氣的污染度明顯大于或明顯小于規定等級中關(guān)注粒徑的粒子濃度限值 ，采用序貫采樣法 通常可大幅度減少采樣量和采樣時(shí)間 。即使濃度接近規定限值時(shí) ，序貫采樣法仍可節省一些工作量 。 當預期空氣潔凈度為 ISO 4 級或更潔凈時(shí)，序貫采樣法最合適 。
注 2   有關(guān)序貫采樣法的詳細資料見(jiàn) IEST-G-CCl 004.
F. 1. 2限制
序貫采樣法的主要限制條件是 ：
a)此法僅適用于在規定等級或濃度限值處對關(guān)注粒徑的每次采樣目 標總數為 20 顆粒子 。
b)每次樣本測量都要輔以監測和數據分析 ，可由計算機自動(dòng)完成 。
c)由于序貫采樣法降低了采樣量，測出的粒子濃度不如常規采樣法精確   。

• 

• 

對一個(gè)規定采樣點(diǎn)進(jìn)行空氣采樣時(shí) ，正在累計的粒子總數不停地與參照限值進(jìn)行比較 。該參照限 值是己采集空氣量與規定總量之比的函數 。若正在累計的計數小于已采空氣量對應的參照值下限 ，則 認為采樣空氣符合規定的等級或濃度限值 ，于是終止采樣 。
若正在累計的計數大于已采空氣量對應的參照值上限 ，則采樣空氣不符合規定的等級或濃度限值 ， 于是終止采樣 。只要正在累計的計數仍處在上下限之間 ，采樣就不停，一直累計到完整的樣本 。
圖 F. l 中的 C 是實(shí)測計數 ，它與 E 相對應 ；E 是預期計數 ，即假定關(guān)注粒徑的粒子濃度處在規定限 值處 、以一個(gè)完整的單次空氣采樣時(shí)間內可采集到 20 顆粒子的速率（采樣量對采樣時(shí)間） 采樣時(shí)，可采 到粒子的計數 。
表 F. l 是另一種等效方法 。如表所示，將實(shí)測計數 C 出現的時(shí)間與測量完整單個(gè)樣本遞進(jìn)的時(shí)間 進(jìn)行比較 。若計數發(fā)生的時(shí)間早于表中左欄的遞進(jìn)時(shí)間 ，則所采空氣不符合規定限值 z若計數發(fā)生時(shí)間 遲于表中右欄的遞進(jìn)時(shí)間 ，則所采空氣滿(mǎn)足規定限值 。粒子的出現時(shí)間與表中的限定時(shí)間最多 需要進(jìn) 行 21 次比較。
F. 3采樣規程
F. 3. 1   序貫采樣的參照值
隨著(zhù)數據采集的進(jìn)程判定結果的比較法有兩種 。累進(jìn)數據計算機分析方法較好 ，并推薦使用 。
F. 3. 2采樣對照圖
圖 F. l 顯示出按式（ F. l)和式（F. 2 ） 設定的邊界線(xiàn) ，這兩條邊界線(xiàn)在 E= 20 處截斷 ，此處代表采集 一個(gè)完整樣本所需的時(shí)間 ，C= 20 即為最大合格實(shí)測計數 。
該圖繪出了粒子濃度精確處在規定等級水平時(shí) ，觀(guān)測計數與預期計數的對應關(guān)系 。預期計數的增 加伴隨著(zhù)時(shí)間的流逝，E=20 表示粒子濃度處在等級限值時(shí)累計到一個(gè)完整采樣量所需的時(shí)間 。
按照圖 F. l 進(jìn)行序貫采樣的規程如下 ：
隨著(zhù)采樣的進(jìn)行，記錄下作為時(shí)間函數的粒子計數 ，并將該計數與圖 F. 1 的上下邊線(xiàn)進(jìn)行比較 。 若實(shí)測累計計數值超過(guò)了上邊線(xiàn) ，則終止該采樣點(diǎn)的采樣，表明空氣不符合規定的等級限值 。若實(shí)測累 計計數值低于下邊線(xiàn) ，則終止該采樣點(diǎn)的采樣 ，表明空氣符合規定的等級限值 。若實(shí)測累計值處于上 、 下邊線(xiàn)之間，則繼續進(jìn)行采樣 。
若到規定的采樣時(shí)間結束時(shí) ，總計數未超過(guò) 20，未超過(guò)上邊線(xiàn)，可判定空氣達到等級 。
F. 3. 3采樣對照表
表 F. 1 給出另一種等效的序貫采樣法 ，其中的數據也是按式 C F. l)和式 C F. 2 ） 計算出來(lái)的。表中的 時(shí)間 t 賦值為 1. 000 0，代表采集一個(gè)完整樣本的時(shí)間段 。其樣本量即空氣中關(guān)注粒徑的粒子剛好處于 其等級限值當量濃度時(shí) ，測出 20 個(gè)粒子的必需量。表中所列各時(shí)間值為一個(gè)完整樣本所需總累計時(shí)間 的各遞進(jìn)部分 。
按表 F. 1進(jìn)行序貫采樣的方法如下 ：
隨著(zhù)采樣的進(jìn)行 ，記錄粒子計數及出現的時(shí)間 ，將每次實(shí)測到計數的時(shí)間與表中所示的兩個(gè)時(shí)間欄 進(jìn)行比較 。若一個(gè)實(shí)測計數累計值出現的時(shí)間早于表中左側時(shí)間欄標明的遞進(jìn)時(shí)間   ，則終止采樣，報告 空氣未達到規定的等級；若一個(gè)實(shí)測計數的累計值出現的時(shí)間晚于表中右側時(shí)間欄標明的遞進(jìn)時(shí)間，則 終止采樣 ，報告空氣達到規定的等級 。若實(shí)測計數累計不斷地出現在兩個(gè)時(shí)間欄所示時(shí)間之間 ，則繼續 采樣；若不斷進(jìn)行的 21 次比較中元一計數早于左欄的遞進(jìn)時(shí)間 ，則這個(gè)完整樣本表明空氣達到規定 等級。