潔凈車(chē)間之純化水管道的相關(guān)知識
發(fā)布日期:2020-10-02 09:16 瀏覽次數:
純化水管道在整個(gè)潔凈車(chē)間運行當中有著(zhù)非常重要的作用,下面由小編來(lái)為大家講解下潔凈車(chē)間之純化水管道的相關(guān)知識:
一、潔凈車(chē)間管道:管道材料宜選用無(wú)毒工程塑料或不銹鋼。電子廠(chǎng)凈化車(chē)間送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀(guān)清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。電子廠(chǎng)凈化車(chē)間凈化車(chē)間材料是凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
不銹鋼(不銹耐酸鋼)材料的特點(diǎn)是:
1.鈍化后呈化學(xué)惰性;
2.易于消毒;
3.工作溫度范圍廣。電子廠(chǎng)凈化車(chē)間凈化車(chē)間材料是凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
二、潔凈車(chē)間管道的連接和試壓接頭:
潔凈車(chē)間不銹鋼(不銹耐酸鋼)管道應采用熱熔式氬弧焊焊接,內壁要光滑,應檢查焊接質(zhì)量,記錄焊接的數量,并做X光拍片。由于管道在技術(shù)夾層難以拍片、采取先拍片的形式,一般采用自動(dòng)氬弧熱熔式焊機,根據設備手冊先確定焊接控制參數,如電流大小,頻率(frequency)等。
三、潔凈車(chē)間管道的清洗、鈍化(Inactivation)、消毒、不銹鋼管道的處理(清洗、鈍化、消毒)可大致分為純化水循環(huán)(continue)預沖洗→堿液循環(huán)清洗→純化水清洗→鈍化→純化水再次沖洗→排放→純蒸汽消毒等幾個(gè)步驟(procedure)。
1.潔凈車(chē)間純化水循環(huán)(continue)預沖洗:
準備一個(gè)貯液罐和一臺水泵,與需要鈍化(Inactivation)的管道連成一個(gè)循環(huán)通路,在貯液罐中注入足夠的常溫純化水,用水泵加以循環(huán),15min后打開(kāi)排水閥,邊循環(huán)邊排放,能裝一只流量(單位:立方米每秒)計;
2.堿液清洗:
準備氫(Hydrogen)氧(Oxygen)化鈉化學(xué)純試劑,加入熱水(溫度(temperature)不低于70℃)配制成1%(體積(volume)濃度)的堿液,用泵進(jìn)行循環(huán)(continue),時(shí)間不少于30min,然后排放;
3.沖洗:
將純化水加入貯罐,啟動(dòng)水泵,打開(kāi)排水閥排放,直到各出口點(diǎn)水的電阻率與罐中水的電阻率相一致,排放時(shí)間至少30min;
4.純化:
(a)用純化水及化學(xué)純的硝酸配制成8%的酸液,在49-50℃溫度(temperature)下循環(huán)(continue)60min后排放;
(b)或用3%氫(Hydrogen)氟酸、20%氨氮水(Nitric acid)、77%純化水配制溶液,溶液溫度(temperature)在25-35℃,循環(huán)處理10-20min然后排放;
5.初始沖洗:用常溫純化水沖洗,時(shí)間不少于5min;
6.沖洗:再次沖洗,直到進(jìn)、出口純化水的電阻率一致;
7.純蒸汽消毒:
將潔凈車(chē)間蒸汽通入整個(gè)不銹鋼的管道系統,每個(gè)使用點(diǎn)至少沖洗15min。上述清洗、鈍化、消毒過(guò)程及其參數應加以記錄。