無(wú)塵室標準/潔凈室（無(wú)塵車(chē)間）等級劃分
無(wú)塵室（潔凈室）根據潔凈程度不同分很多等級。目前各行業(yè)無(wú)塵室等級大都為1000級和100級的居多，數字越小，潔凈等級越高。
一、無(wú)塵室概念
無(wú)塵室（潔凈室）1000級的概念是：每立方英尺內，大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過(guò)1000顆 ；
無(wú)塵室（潔凈室）100級的概念是：每立方英尺內，大于等于0.3的灰塵顆粒不能超過(guò)100顆 ；
注意了：每個(gè)等級所管控的顆粒大小也不一樣；
依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準，可將無(wú)塵室（潔凈室）分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級；
如果無(wú)塵室（潔凈室）的等級只用塵粒數目來(lái)敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無(wú)塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來(lái)表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度（單位:g/cm3或kg/m3)不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無(wú)塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。
二、無(wú)塵室分類(lèi)
1、亂流式(Turbulent Flow)：
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車(chē)間內之空氣過(guò)濾器(作用:過(guò)濾雜質(zhì)等)(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由無(wú)塵車(chē)間兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。靜壓差由于層流流量計適用于層流流動(dòng)狀態(tài)，從流體力學(xué)的角度分析是適用于低雷諾數下的流動(dòng)。流 體在流動(dòng)過(guò)程中粘性力占主導地位。 由于粘性力的影響，流體在流動(dòng)過(guò) 程中將造成壓力能的損耗，使壓力 下降。在穩定流動(dòng)過(guò)程中，流體的壓力損失與流體粘度及流量之間存在固定的關(guān)系。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高無(wú)塵車(chē)間等級。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
2、層流式(Laminar)：
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻（jūn yún)之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋（Cover)率100%之過(guò)濾器(作用:過(guò)濾雜質(zhì)等)進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
(1)無(wú)塵車(chē)間水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器(作用:過(guò)濾雜質(zhì)等)單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定（解釋:穩固安定；沒(méi)有變動(dòng))。
缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
(2)無(wú)塵車(chē)間垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器(作用:過(guò)濾雜質(zhì)等)覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì )影響其它工作區域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定（解釋:穩固安定；沒(méi)有變動(dòng))狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
3、復合式(Mixed Type)：
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)無(wú)塵車(chē)間潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器(作用:過(guò)濾雜質(zhì)等)將制程區域或工作區域100%覆蓋（Cover)使潔凈度等級提高至10級以上，可節省(spare)安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區 與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)（Character)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易；B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。
(2)無(wú)塵車(chē)間潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體(semiconductor)業(yè)界均適用。
(3)無(wú)塵車(chē)間并裝局部（part)潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)(Produce)之用；即屬此類(lèi)。
(4)潔凈工作臺：等級Class 1~100級。凈化車(chē)間檢測換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波動(dòng)±2℃。
(5)潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)之透明塑料（結構:合成樹(shù)脂、增塑劑、穩定劑、色料)布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋（Cover)面積約10M2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。
三、無(wú)塵車(chē)間-無(wú)塵室（潔凈室）標準等級
現今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規格(specifications)，BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格）。懸浮粒子潔凈除了使用人員日常管理外，對潔凈區空調系統和潔凈區的空氣凈化設備一年大修一次，在生產(chǎn)期間如遇異常情況應及時(shí)檢修，大修后要驗證。 其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個(gè)0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱(chēng)為[等級○○]。例如：空氣中含有10個(gè)0.5以下時(shí)，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~個(gè)微粒子。 在JIS標準下，無(wú)塵室清潔度，共分為8個(gè)等級一般清潔度是指空氣的潔凈等級，分為等級1、2???8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為1；百個(gè)以下是100=102是等級2；千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級3，依次類(lèi)推。
美國聯(lián)邦標準209E（1992年）PC/ft3潔凈度級別：粒徑(um)
0.1
0.1
0.3
0.5
5.0
1
35
7.5
3
1
NA
10
350
75
30
10
NA
100
NA
750
300
100
NA
1000
NA
NA
NA
1000
7
10000
NA
NA
NA
10000
70
100000
NA
NA
NA
100000
700
公司供應無(wú)塵車(chē)間等級/無(wú)塵室級別/潔凈工程潔凈等級標準/無(wú)塵室等級劃分/無(wú)塵車(chē)間標準。