手術(shù)室無(wú)塵凈化工程中的單向流潔凈室與非單向
發(fā)布日期:2020-08-21 12:53 瀏覽次數:
(1)非單向流潔凈室
這類(lèi)潔凈室廣泛(extensive)應用于無(wú)塵凈化工程中,這類(lèi)潔凈室的凈化,空調系統的送回風(fēng)通常采用頂送側回、頂送頂回等方式,在潔凈生產(chǎn)(Produce)區的技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內布置送回風(fēng)管、排風(fēng)管和各種公用動(dòng)力管線(xiàn)等。自?xún)魰r(shí)間一定范圍內,環(huán)境能夠通過(guò)自然作用使特定環(huán)境中污染物的含量降低的能力,這種能力包括物理的、化學(xué)的、生物的或者是綜合的。 自?xún)裟芰梢允俏廴疚锏倪w移、轉化或是污染物自身的衰減,自?xún)裟芰Φ拇笮Q定于環(huán)境要素的種類(lèi)及其所具有的狀態(tài)。水體、大氣、土壤和生物等各環(huán)境要素對污染物都具有一定的自?xún)裟芰ΑK^公用動(dòng)力管線(xiàn)主要包括自來(lái)水、純水、各類(lèi)氣體或液體管道和電力、照明及通信線(xiàn)繳等。若在技術(shù)夾層設有可燃氣體管道時(shí),應設置報警裝置、排風(fēng)裝置等。
(2)單向流潔凈室
單向流潔凈室主要用于電子工業(yè)和生物制藥生產(chǎn)(Produce)的局部(part)區域。在生物醫藥產(chǎn)品生產(chǎn)中主要采用局部設置層流罩或凈化工作臺或生物安全柜等來(lái)滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝(production engineering)的要求。在電子工業(yè)中的微電子產(chǎn)品或一些電子器件產(chǎn)品生產(chǎn)中需要一個(gè)房間或一條生產(chǎn)線(xiàn),甚至數條生產(chǎn)線(xiàn)的主要工序均需設置在嚴于5級(100級)的潔凈室內,才能達到產(chǎn)品生產(chǎn)的要求。
目前超大規模集成電路生產(chǎn)(Produce)要求微粒控制(control)粒徑0.1pm、0.05um,達到1級或更嚴級別的要求、為此,無(wú)塵凈化工程中單向流潔凈室的空間布置已從“單層”布置發(fā)展到“多層”布置(這里的“單層” “多層”與通常所說(shuō)的單層或多層廠(chǎng)房有所不同,因為這里“單層” “多層”均設有與工藝生產(chǎn)(Produce)層相通的上下技術(shù)夾層,為加以區別,將這里所敘述的“單層” “多層”增加符號.”)。
“單層”布置的單向流潔凈廠(chǎng)房,在單向流潔凈生產(chǎn)(Produce)區的上部、下部設有上下技術(shù)夾層,在上技術(shù)夾層內布置送風(fēng)管道、部分公用動(dòng)力管線(xiàn),萬(wàn)級凈化工程中通過(guò)設在頂棚上的高效過(guò)濾器(作用:過(guò)濾雜質(zhì)等)向潔凈生產(chǎn)區均勻(jūn yún)送風(fēng);通過(guò)設在下技術(shù)夾層的回風(fēng)地板回風(fēng)至空氣處理裝置。潔凈廠(chǎng)房檢測工監測缺乏采樣點(diǎn)和采樣時(shí)間的固定性。在手工操作下,前后兩次采樣點(diǎn)的位置很難保證在同一點(diǎn),采樣的時(shí)間也不能保證在不同班次或日期的同一個(gè)相對或絕對時(shí)刻。因此,監測數據之間很難產(chǎn)生相對的聯(lián)系,沒(méi)有可比性,不利于判斷系統運行的長(cháng)期趨勢。無(wú)塵室檢測實(shí)際上,每個(gè)粒子產(chǎn)生的散射光強度很弱,是一個(gè)很小的光脈沖,需要通過(guò)光電轉換器的放大作用,把光脈沖轉化為信號幅度較大的電脈沖,然后再經(jīng)過(guò)電子線(xiàn)路的進(jìn)一步放大和甄別,從而完成對大量電脈沖的計數工作。
供應潔凈生產(chǎn)(Produce)區所用的部分公用,動(dòng)力管線(xiàn)、設備和工藝生產(chǎn)用管線(xiàn)、設施等同層布置潔凈生產(chǎn)區的鄰近處。這種空間布置的靈活性較差,當產(chǎn)品生產(chǎn)工藝(production engineering)或產(chǎn)品數量擴大時(shí),進(jìn)行工藝平面布置調整較為困難(difficult),需要較長(cháng)的技術(shù)改造時(shí)間技術(shù)改造費用增加。