等級標準和規范在經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區都有自己的標準，都規定了有關(guān)的潔凈度等級。
例如：美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《設計規范》（GBJ73-84），1996年該規范進(jìn)行較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》（JGJ71-90）以指導施工和驗收的重要文件。目前，該規范在重新修訂中。
GBJ73-84規定的潔凈度等級
|
等級 |
每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數 |
每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數 |
|
100 |
《35*100（〈3.5〉 |
|
|
1000 |
《35*1000（〈35〉 |
《250（〈0.25〉 |
|
10000 |
《35*10000（〈350〉 |
《2500（〈2.5〉 |
|
100000 |
《35*100000（〈3500〉 |
《25000（〈25〉 |
美國聯(lián)邦標準FS209E中的潔凈等級
|
等級名稱(chēng) |
等級限值 |
||||||||||
|
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
5μm |
|||||||
|
容積單位 |
容積單位 |
容積單位 |
容積單位 |
容積單位 |
|||||||
|
國際單位 |
英制 單位 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
|
M1.0 |
|
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10 |
0.283 |
/ |
/ |
|
M1.5 |
1 |
1240 |
35.0 |
265.0 |
7.5 |
106 |
3 |
35.3 |
1 |
/ |
/ |
|
M2.0 |
|
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
/ |
/ |
|
M2.5 |
10 |
12400 |
350.0 |
2650 |
75 |
1060 |
30 |
353 |
10 |
/ |
/ |
|
M3.0 |
|
35000 |
991.0 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
/ |
/ |
|
M3.5 |
100 |
/ |
/ |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
/ |
/ |
|
M4.0 |
|
/ |
/ |
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
/ |
/ |
|
M4.5 |
1000 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
35300 |
1000 |
247 |
7 |
|
M5.0 |
|
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
|
M5.5 |
10000 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
353000 |
10000 |
2470 |
70 |
|
M6.0 |
|
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
|
M6.5 |
100000 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
|
M7.0 |
|
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
美國宇航局標準NHB5340.2中的潔凈等級
|
生物 潔凈 室標準 |
塵埃 |
生物粒子 |
壓力 |
溫度 |
濕度 |
氣流 |
照度 |
||
|
粒徑 (μm) |
個(gè)/L |
浮游量 (個(gè)/L) |
浮沉量 (個(gè)/m2周) |
mmH2O |
℃ |
% |
換氣 次數 |
Lx |
|
|
100 |
≥0.5 |
≤3.5 |
≤0.0035 |
12900 |
≥1.25 |
指定數 |
40~45 |
|
1000~1620 |
|
10000 |
≥0.5 ≥5.0 |
≤350 ≤2.3 |
≤0.0176 |
64600 |
≥1.25 |
|
|||
|
100000 |
≥0.5 ≥5.0 |
≤3500 ≤23 |
≤0.0884 |
323000 |
≥1.25 |
||||
日本工業(yè)標準JISB-9920-1989中的潔凈度等級
|
粒徑(μm) |
潔凈度等級(個(gè)/m3) |
|||||||
|
1級 |
2級 |
3級 |
4級 |
5級 |
6級 |
7級 |
8級 |
|
|
0.1 |
101 |
102 |
103 |
104 |
105 |
106 |
107 |
108 |
|
0.2 |
2 |
24 |
236 |
2360 |
23600 |
|
|
|
|
0.3 |
1 |
10 |
101 |
1010 |
10100 |
101000 |
1010000 |
10100000 |
|
0.5 |
0.35 |
3.5 |
35 |
350 |
3500 |
35000 |
350000 |
3500000 |
|
5.0 |
/ |
/ |
/ |
/ |
29 |
290 |
2900 |
29000 |
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