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無(wú)塵車(chē)間裝修10-100萬(wàn)級無(wú)塵室測試標準

發(fā)布日期:2020-09-05 08:14 瀏覽次數:

無(wú)塵車(chē)間裝修/10-100萬(wàn)級無(wú)塵室測試(TestMeasure)標準
無(wú)塵車(chē)間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室。無(wú)塵室在建造施工完成后都要進(jìn)行潔凈度檢測,查看通風(fēng),除塵,風(fēng)量等各項指標是否能達到設計求。
一、百級無(wú)塵室/無(wú)塵車(chē)間 千級無(wú)塵室/無(wú)塵車(chē)間,萬(wàn)級無(wú)塵室/無(wú)塵車(chē)間檢測標準主要包括:
1、氣流速度及其均勻(jūn yún)度檢測,這項檢測是無(wú)塵室效果的其他各項檢測的前提,這項檢測的目的是為了明確單向流無(wú)塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。
2、系統或房間的風(fēng)量(定義:單位時(shí)間內空氣的流通量)檢測。
3、室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別,可采用粒子計數器檢測。
4、自?xún)魰r(shí)間的檢測。通過(guò)確定自?xún)魰r(shí)間,查明潔凈室內部發(fā)生污染時(shí)恢復其原有潔凈度的能力。
5、氣流流型檢測。凈化車(chē)間檢測換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。
6、噪聲的檢測。
7、光照強度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻(jūn yún)性。
8、振動(dòng)的檢測。振動(dòng)檢測的目的是為了判明無(wú)塵室各表明的振動(dòng)幅度。
9、溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度(temperature)、濕度調整到一定限度內的能力。其網(wǎng)站內容包括檢測無(wú)塵室的送風(fēng)溫度,檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度,檢測無(wú)塵室中心點(diǎn)的空氣溫度,檢測敏感元件處的空氣度,檢測室內空氣相對溫度,檢測回風(fēng)溫度。
10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。懸浮粒子潔凈除了使用人員日常管理外,對潔凈區空調系統和潔凈區的空氣凈化設備一年大修一次,在生產(chǎn)期間如遇異常情況應及時(shí)檢修,大修后要驗證。
二、為證明無(wú)塵室做得令人滿(mǎn)意、必須滿(mǎn)足以下準則要求:
1、無(wú)塵室的送風(fēng)量(定義:單位時(shí)間內空氣的流通量)充足,足以稀釋或消除室內產(chǎn)生的污染。
2、無(wú)塵室內的空氣是從潔凈區向潔凈度稍差的區域流動(dòng),受污染空氣的流動(dòng)達到最低程度,空氣在門(mén)口處和室內建筑中的流動(dòng)方向正確。
3、無(wú)塵室的送風(fēng)不會(huì )顯著(zhù)增加室內的污染。
4、室內空氣的運動(dòng)狀態(tài)可保證密室內沒(méi)有高濃度聚集區域。
如果無(wú)塵室達到了上述這些準則的要求,就可以測量其粒子濃度或微生物(Micro-Organism)濃度(必要時(shí)),以確定其達到了規定的無(wú)塵室標準。
三、無(wú)塵室的測試內容:
1、送風(fēng)量與排風(fēng)量:如果是紊流無(wú)塵室,那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流無(wú)塵室,則要測量其風(fēng)速。
2、各區之間的氣流控制(control):為證明各區之間氣流運動(dòng)方向正確,也就是從無(wú)塵區向潔凈度差的區域流動(dòng),必須檢測:(1)各區間的壓差正確;(2)門(mén)口處或墻、地板等處的開(kāi)口處氣流運動(dòng)方向正確,即從潔凈區向潔凈程度差的區域流動(dòng)。
3、過(guò)濾器檢漏:對高效過(guò)濾器及其外框要進(jìn)行檢驗,以保證懸浮污染物不會(huì )穿過(guò):(1)損壞了的過(guò)濾器;(2)過(guò)濾器與其外框間的縫隙;(3)過(guò)濾器裝置的其他部位而侵入室內。
4、隔離檢漏:這項測試(TestMeasure)是為了證明懸浮污染物不穿過(guò)建筑材料侵入無(wú)塵室。
5、室內氣流控制:氣流控制測試(TestMeasure)的類(lèi)型要依無(wú)塵室的氣流模式——是紊流還是單向流而定。若無(wú)塵室氣流為紊流,則必須驗明室內沒(méi)有氣流運行不足的區域。若是單向流無(wú)塵室,則必須驗明整個(gè)室內的風(fēng)速和風(fēng)向是符合設計要求的。
6、懸浮粒子濃度和微生物(Micro-Organism)濃度:如果上述這些測試滿(mǎn)足要求,則最后對粒子濃度和微生物濃度(需要時(shí))進(jìn)行測量,以便驗明其符合潔凈室設計的技術(shù)條件。
7、其他測試(TestMeasure):除了上述這些污染控制方面的測試以外,有時(shí)還必須進(jìn)行其他一項或若干項測試。
四、十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間特點(diǎn)及作業(yè)環(huán)境規定:
無(wú)塵車(chē)間是污染控制(control)的基礎,是污染敏感零件批量生產(chǎn)(Produce)的必要設施。它具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。”北斗七星”凈化標準。為產(chǎn)品價(jià)值保駕護航。
十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除(Remove),并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。其中不論車(chē)間外空氣條件如何變化,室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
五、十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間作業(yè)環(huán)境規定:
1、落塵量檢測每三個(gè)月委外檢測并附檢測結果至公司管理部存檔。靜壓差因為潔凈室的環(huán)境是一個(gè)密閉的潔凈環(huán)境,門(mén)關(guān)閉時(shí)室內的氣壓大于室外的氣壓,從而保證潔凈室內的潔凈空氣只能向室外流動(dòng),室外的空氣不會(huì )進(jìn)入室內,開(kāi)門(mén)后就破壞了壓差系統,潔凈間的凈化質(zhì)量也將受到影響。
2、無(wú)塵車(chē)間標準溫度:21℃-25℃,濕度:50%-70%,每天要有溫度表記錄。
3、作業(yè)員上下班前10分鐘將各自工位環(huán)境進(jìn)行清潔處理(含加班時(shí)間),由主管級人員不定期審核確認。
六、十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn):
1 、無(wú)塵車(chē)間標準潔凈度LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為:
清洗印刷取向膜磨擦密封印刷層散布隔墊物組合劃線(xiàn)和切割LC注入貼偏振片制屏終檢。在本設計里是指末端工藝的一些無(wú)塵車(chē)間,其凈化潔凈度一般為千級或萬(wàn)級或十萬(wàn)級。背光屏類(lèi)無(wú)塵車(chē)間主要是這類(lèi)產(chǎn)品的沖壓車(chē)間、組裝等無(wú)塵車(chē)間,其潔凈度一般為萬(wàn)級或十萬(wàn)級。
2 、室內空氣參數要求
(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃ ,相對濕度為55+5%
(2)新風(fēng)量(定義:單位時(shí)間內空氣的流通量)大。由于這類(lèi)車(chē)間內,人員比較多,可以根據以下數值應取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補償室內排風(fēng)和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3 /h。
(3)送風(fēng)量(定義:單位時(shí)間內空氣的流通量)大。為了滿(mǎn)足無(wú)塵車(chē)間內的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車(chē)間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬(wàn)級,送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數,是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級,送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數,是≥15次/h)。
公司,凈化行業(yè)唯一標準化的系統方案供應商。專(zhuān)業(yè)建造無(wú)塵車(chē)間、凈化工程裝修、潔凈工程設計等,在凈化技術(shù)上有獨到的研究(research),在實(shí)際應用中得到廣大的客戶(hù)認可,的”北斗七星”標準有效的控制車(chē)間環(huán)境,保證了產(chǎn)品的質(zhì)量,廣泛應用于車(chē)間凈化需求的行業(yè)。
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