手術(shù)室凈化工程淺談靜電帶來(lái)的危害
發(fā)布日期:2020-08-09 08:15 瀏覽次數:
手術(shù)室凈化工程淺談靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)帶來(lái)的危害。對于手術(shù)室凈化工程來(lái)說(shuō)靜電是非常可怕的,它有一定的危險,那您了解過(guò)它對手術(shù)室凈化工程有哪些危害嗎,今天小編就來(lái)給大家科補一下這方面的知識。
1、靜電庫侖力。貴陽(yáng)手術(shù)室裝修手術(shù)室(operating room 英文簡(jiǎn)稱(chēng)o.r)是為病人提供手術(shù)及搶救的場(chǎng)所,是醫院的重要技術(shù)部門(mén)。手術(shù)室應與手術(shù)科室相接連,還要與血庫、監護室、麻醉復蘇室等臨近。在靜電庫侖力的作用下,吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路,使性能受損,成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm,鋁線(xiàn)寬度約100μm,氧化(oxidation)膜(oxide film)厚度在50μm時(shí),最易使產(chǎn)品報廢。現在線(xiàn)徑更細,氧化膜很薄,粒徑很小的塵粒子就會(huì )損害元器件,這種情形多發(fā)生在腐蝕(釋義:指腐爛、消失、侵蝕等)清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過(guò)程中。
2、靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷(electric charge))放電ESD。(1)元器元件的絕緣氧化膜(oxide film)被擊穿,引線(xiàn)被燒斷或線(xiàn)間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷,觸摸器件腳時(shí)發(fā)生ESD,其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值(peak)可達20A(10~100s),不要說(shuō)高密度,細線(xiàn)徑,薄SiO2膜的Lsi、Vlsi,就是一般IC、MOS都會(huì )遭受損壞。
一般說(shuō)器件絕緣柵SiO2薄膜(薄而軟的透明薄片)的耐壓場(chǎng)強是E=(5-10)×106V/cm,如果器件SiO2膜厚度取1000,其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)壓就將會(huì )被擊穿,而人體帶靜電超過(guò)50V、100V是極平常的。貴陽(yáng)手術(shù)室裝修手術(shù)室(operating room 英文簡(jiǎn)稱(chēng)o.r)是為病人提供手術(shù)及搶救的場(chǎng)所,是醫院的重要技術(shù)部門(mén)。手術(shù)室應與手術(shù)科室相接連,還要與血庫、監護室、麻醉復蘇室等臨近。
(2)造成噪聲、發(fā)射電磁波干擾。貴陽(yáng)手術(shù)室凈化采用高效低毒消毒劑,以及合理使用,是保障一般手術(shù)室無(wú)菌環(huán)境的有力措施。根據不斷討論與反復斟酌,修訂后《綜合醫院建筑設計規范》中,關(guān)于一般手術(shù)室的條文最終確定為:“一般手術(shù)室應采用末端過(guò)濾器不低于高中效過(guò)濾器的空調系統或全新風(fēng)通風(fēng)系統。ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖,信號強,相當于電路中幾伏的能量,頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強大噪聲,可能(maybe)引起元器元件損壞,設備和傳感器(transducer)不正常工作,甚至引起設備死機。ESD引起的EMI還會(huì )引發(fā)錯誤信號的輸入,或發(fā)生鎖存現象。如無(wú)塵室中,將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車(chē)上,晶圓片的ESD會(huì )通過(guò)電感傳給手推車(chē),車(chē)輪是絕緣的,則EMI的擴散會(huì )引起晶圓片處理機死機。
(3)電擊(electricinjury)人體。人體的ESD或對人體的ESD當超過(guò)人體電擊極限電流(Electron flow)5mA以上時(shí),人都會(huì )有各種傷害感覺(jué),造成工作人員的情緒不安,操作錯誤。
半導體,平面顯示器,光電子等潔凈室,盡管做了很多工作,但潔凈室的靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)問(wèn)題仍然影響著(zhù)生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量,影響著(zhù)制造成本和效益,影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。據國外工業(yè)專(zhuān)家估計,美國每年由于靜電造成產(chǎn)品的損失(loss)平均在8-33%,還有人估計美國每年靜電對電子工業(yè)毀損價(jià)值達100億美元(USD);日本80年代曾對報廢的電子產(chǎn)品進(jìn)行分析,由ESD引起的損失占1/3。我國半導體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚,但靜電危害也時(shí)有發(fā)生,成品率較低。而銀行、證券公司、機要數據庫、監控中心,電力調度室等等,若出現ESD就很容易引起干擾,數據遺失,情形就更嚴重了。
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